X射線(xiàn)熒光就是被分析樣品在X射線(xiàn)照射下發(fā)出的X射線(xiàn)，它包含了被分析樣品化學(xué)組成的信息，通過(guò)對X射線(xiàn)熒光的分析確定被測樣品中各組分含量的儀器就是X射線(xiàn)熒光分析儀。由原子物理學(xué)的知識，對每一種化學(xué)元素的原子來(lái)說(shuō)，都有其特定的能級結構，其核外電子都以其*的能量在各自的固定軌道上運行。內層電子在足夠能量的X射線(xiàn)照射下脫離原子的束縛，成為自由電子，這時(shí)原子被激發(fā)了，處于激發(fā)態(tài)。此時(shí)，其他的外層電子便會(huì )填補這一空位，即所謂的躍遷，同時(shí)以發(fā)出X射線(xiàn)的形式放出能量